Radioelektronikos terminų žodynas. – Vilnius : BĮ UAB „Litimo“. Kazimieras Gaivenis, Gytis Juška, Vidas Kalesinskas. 2000.
Einzelwaferplasmabearbeitungsanlage — plazminis plokštelių nuosekliojo apdorojimo įrenginys statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. single wafer plasma installation vok. Einzelwaferplasmabearbeitungsanlage, f rus. плазменная установка последовательной обработки пластин … Radioelektronikos terminų žodynas
installation à plasma pour traitement séquentiel des tranches — plazminis plokštelių nuosekliojo apdorojimo įrenginys statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. single wafer plasma installation vok. Einzelwaferplasmabearbeitungsanlage, f rus. плазменная установка последовательной обработки пластин … Radioelektronikos terminų žodynas
single-wafer plasma installation — plazminis plokštelių nuosekliojo apdorojimo įrenginys statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. single wafer plasma installation vok. Einzelwaferplasmabearbeitungsanlage, f rus. плазменная установка последовательной обработки пластин … Radioelektronikos terminų žodynas
плазменная установка последовательной обработки пластин — plazminis plokštelių nuosekliojo apdorojimo įrenginys statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. single wafer plasma installation vok. Einzelwaferplasmabearbeitungsanlage, f rus. плазменная установка последовательной обработки пластин … Radioelektronikos terminų žodynas
